Anwendung von Borcarbid in Saphir-Wafer-LED
Borcarbid-Schleifmittel haben eine gute Leistung beim doppelseitigen Schleifen von Saphir-Wafern und beim Dünnen und Polieren der Rückseite von Saphir-basierten LED-Epitaxie-Wafern.
Aufgrund der hohen Festigkeit und Härte des Saphirglases hat es den verarbeitenden Unternehmen große Schwierigkeiten bereitet. Aus Sicht der Materialien und der Schleifakademie sind die relativ guten Materialien zum Bearbeiten und Schleifen von Saphirkristallen synthetischer Diamant, Borcarbid und Siliziumcarbid. Aufgrund der übermäßigen Härte von künstlichem Diamant wird die Oberfläche des Saphirwafers beim Schleifen zerkratzt, was die Lichtdurchlässigkeit des Wafers beeinträchtigt und teuer ist. Die Härte von Siliziumkarbid ist jedoch unzureichend und die Schleifkraft ist gering, was beim Schleifprozess zeitaufwändig und arbeitsintensiv ist. Daher werden Borcarbid-Schleifmittel zu idealen Materialien für die Bearbeitung und das Schleifen von Saphirkristallen.